Микроэлектроника

Среда в помещениях, где производятся микроэлектронные устройств, должна быть идеально чистой

Приточный воздух необходимо фильтровать в три этапа, с фильтром HEPA на третьем этапе
Избыточное давление в соседних помещениях необходимо поддерживать на уровне приблезительно 15 Па
Все поверхности в помещении должны быть гладкими, пригодными для эффективной очистки, с закругленными углами и простыми соединениями

Контактные данные