Industrie micro-électronique

La production de matériel micro-électronique doit se faire dans un environnement intérieur propre et exempt de poussière.

L'alimentation en air doit passer par une triple filtration, la dernière avec un filtre HEPA
Le niveau de surpression des pièces voisines doit être maintenu à environ 15Pa
Toutes les surfaces intérieures de la pièce doivent être lisses et faciles à nettoyer - angles arrondis, nombre de joints limités