Mikroelektronik

Für die Herstellung von mikroelektronischen Geräten genutzte Räume müssen rein und staubfrei sein.

Zuluft muss in drei Stufen gefiltert werden, als dritte Stufe ist ein Schwebstofffilter erforderlich
Gegenüber Nachbarräumen muss ein Überdruck von ca. 15 Pa aufrecht erhalten werden
Alle Flächen im Raum müssen glatt und leicht zu reinigen sein – mit abgerundeten Ecken und wenig Fugen und Stoßstellen